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发明名称 VAPOR PHASE GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02229788(A) 申请公布日期 1990.09.12
申请号 JP19890049543 申请日期 1989.02.28
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 TAKASUKA EIRYO;IKEGAMI KAORU
分类号 C30B25/14;H01L21/205 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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