Flexure hinge-based fine stage for vertical planar 3-DOF motion with high load capacity

摘要

본 발명의 목적은 수직평면 형태로 배치된 스테이지 플랫폼을 병진-병진-회전(PPR) 구조의 탄성힌지기구 및 구동기를 사용하여 이동시키되, 플랫폼 상에 보상용 역균형하중(counter balance)을 구비함으로써 탄성힌지에 작용하는 하중을 저감할 수 있도록 하는, 고하중용 탄성힌지기반 수직평면 미세구동 스테이지를 제공함에 있다.