| 摘要 |
본 발명은 노광장치용 실시간 다채널 레이저감시장치에 관한 것으로; 그 기술구현의 목적은, 다채널 구조의 레이저 노광장치에 적용시키기 위한 전용 적 구성으로서, 레이저 출력장치로부터 발진 되는 레이저 출력상태의 이상 유무, 예컨대, 외부 물리적 요인에 의한 전기적 끊어짐 현상, 또는 레이저 다이오드의 고장, 또는 기타, 레이저 출력에 유해한 영향을 미치는 요인들을 레이저 감시유닛에 의해 실시간 체크 가능하도록 하여, 노광공정의 진행관계를 자동 단속되게 함으로서 제품 불량발생 등과 같은, 품질사고의 문제점을 미연에 방지되도록 하고, 그에 따라 불필요한 금전적 손해를 예방되도록하여, 경제성을 극히 향상시킬 수 있도록 한 노광장치용 실시간 다채널 레이저감시장치를 제공함에 있다. 이에, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구체적 수단으로는; 중앙처리장치가 탑재된 기판구조의 레이저 감시유닛을 기초로 하여; 상기 레이저 감시유닛에, 광원전류 수신감지모듈과, 전압변동 감지모듈과, 입력신호 비교판정모듈과, 이상신호 검출모듈과, 작동제어모듈과, 이상발생신호 출력모듈을 더 탑재 구성되게 하여 달성한다. |
