| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING TRENCH TRENCH SEPARATION STRUCTURE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06342846(A) |
申请公布日期 |
1994.12.13 |
| 申请号 |
JP19940043916 |
申请日期 |
1994.03.15 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KOMORI SHIGEKI;YAMAGUCHI TAKEHISA |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/76;H01L29/784 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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