发明名称 MANUFACTURE OF MOS TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH10340862(A) 申请公布日期 1998.12.22
申请号 JP19970151113 申请日期 1997.06.09
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 FUKAZAWA TOMOYOSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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