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发明名称
摘要
申请公布号
JP3131601(B2)
申请公布日期
2001.02.05
申请号
JP19950042232
申请日期
1995.03.02
申请人
发明人
分类号
H01L21/22;H01L21/304;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/22
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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