激光光学系统的光轴倾斜装置

摘要

本发明涉及激光光学系统的光轴倾斜装置，其包括：将激光光学系统配置在内部的镜筒(2)，可倾斜转动地支撑在镜筒(2)的倾斜框架(12)，使倾斜框架(12)相对于固定在镜筒上的固定框架(11)倾斜转动的倾斜转动机构(13XZ，13YZ)，校准倾斜框架(12)的校准机构(1)，通过进给电动机(13X，13Y)驱动旋转的进给螺杆(14X，14Y)往返移动、并相对于基准位置使倾斜框架(12)倾斜转动的进给定程块(15X，15Y)、检测进给定程块部件位置的定程块位置检测装置(16X，16Y)，以及根据由定程块位置检测装置检测出的进给定程块的位置，计算出倾斜框架(12)对水平面的倾斜角度的计算装置(25)。

主权项

1.一种激光光学系统的光轴倾斜装置，其特征在于，包括：将激光光学系统配置在内部的镜筒；以所述激光光学系统的光轴为Z轴，以在与该Z轴正交的平面内相互正交的一方为X轴，并以另一方为Y轴，在包含所述X轴和所述Z轴的XZ平面内和包含所述Y轴和所述Z轴的YZ平面内的至少一方的平面内可倾斜转动地被所述镜筒支撑的倾斜框架；设置在所述倾斜框架上，检测所述倾斜框架预先设定的基准位置的倾斜传感器；固定设置在所述镜筒上，且设置了使所述倾斜框架相对于水平面倾斜转动的倾斜转动机构的固定框架；可倾斜转动地支撑所述镜筒，使所述镜筒倾斜转动，以便所述倾斜传感器检测所述基准位置，并校准所述倾斜框架的校准机构；包含在所述倾斜转动机构内，由驱动电动机驱动旋转的进给螺杆；包含在所述倾斜转动机构内，通过所述进给螺杆往返移动，且与上述倾斜框架卡合，使该倾斜框架相对所述基准位置倾斜转动的进给定程块；包含在所述倾斜转动机构内，检测所述进给定程块的位置的定程块位置检测装置；以及根据由该定程块位置检测装置所检测出的所述进给定程块的位置计算所述倾斜框架的倾斜角度的计算装置。