无时间延迟的连续式真空制程设备及真空加工方法

摘要

本发明涉及一种连续式的真空制程设备。此类设备可广泛应用于任何需要于真空下进行加工及/或检测工作的制程，例如光学或电子产品的蒸镀或溅镀制程。一种无时间延迟的连续式真空制程设备，其具有前后真空过渡室、前后初级真空室、真空制程室、工件传动装置、真空抽气装置、密封移动门装置以及一控制装置其用于控制该工件传动装置输送工件的速度及该密封移动门装置的开启及关闭，使得工件为该工件传动装置连续的输送通过该前真空过渡室、前初级真空室、真空制程室、后初级真空室、及后真空过渡室，及使所述密封移动门装置在工件到达时被开启及工件通过后被关闭。

主权项

1.一种无时间延迟的连续式真空制程设备，包含一真空制程室，其特征是：包含一前初级真空室及一后初级真空室分别连接该真空制程室的工件进口和工件出口；一前真空过渡室及一后真空过渡室分别连接该前初级真空室及后初级真空室，其中该前真空过渡室、前初级真空室、真空制程室、后初级真空室、及后真空过渡室都安装有一抽真空装置及安装有一贯通其间的工件传动装置；设置于该前真空过渡室的入口的第一密封移动门装置；设置于该前真空过渡室和该前初级真空室之间的第二密封移动门装置；设置于该前初级真空室和该真空制程室之间的第三密封移动门装置；设置于该真空制程室和该后初级真空室之间的第四密封移动门装置；设置于该后初级真空室和该后真空过渡室之间的第五密封移动门装置；设置于该后真空过渡室的出口的第六密封移动门装置；及一控制装置其用于控制该工件传动装置输送工件的速度及该第一至第六密封移动门装置的开启及关闭，使得工件为该工件传动装置连续的输送通过该前真空过渡室、前初级真空室、真空制程室、后初级真空室、及后真空过渡室，及使该第一至第六密封移动门装置在工件到达时被开启及工件通过后被关闭，且相邻的两密封移动门装置未同时开启。