| 摘要 |
Im Rahmen der Erfindung wurde ein Messinstrument zur Erfassung einer physikalischen Messgröße entwickelt. Dieses Messinstrument umfasst einen Transducer, der sich unter der Einwirkung der Messgröße verformt. Erfindungsgemäß ist ein Sensor vorgesehen, der den Transducer mit mindestens einem Lichtstrahl beleuchtet und die Intensität und/oder die Phase des vom Transducer reflektierten Lichts registriert. Dabei trifft der Lichtstrahl unter einem derartigen Winkel auf den Transducer, dass die Verformung durch die Einwirkung der Messgröße sich in einer Änderung der Selbstmischinterferenz zwischen dem auf dem Transducer einfallenden Licht und dem von ihm reflektierten Licht manifestiert. Es wurde erkannt, dass auf diese Weise die extrem hohe Ortsauflösung von Messungen über die Selbstmischinterferenz unmittelbar in eine wesentlich erhöhte Genauigkeit bei der Erfassung der interessierenden physikalischen Messgröße umgemünzt werden kann. Ein Messinstrument gemäß einer weiteren besonders vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung erfasst die Vibration eines Objekts. Der Sensor auf der Basis der Selbstmischinterferenz ist hier erfindungsgemäß über eine Schwingungsdämpfungssystem an das Objekt angekoppelt, welches eine Reihenschaltung aus einem elastisch verformbaren Material und einem starren Material ist. Dieses bewirkt, dass der Sensor sich nicht mit dem Objekt mitbewegt, so dass die Vibration zu einer messbaren Relativbewegung zwischen Objekt und Sensor führt. |
