Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung von Kraftfeldern, Kraftfeldgradienten, Materialeigenschaften oder Massen mit einem System aus gekoppelten, schwingungsfähigen, balkenartigen Komponenten

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf das Gebiet der Messtechnik und betrifft ein Verfahren, welches bei Cantilevern bei der Rasterkraftmikroskopie zum Einsatz kommen kann. Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht in der Angabe eines Verfahrens, welches einfacher und kostengünstiger realisierbar ist, und in einer Vorrichtung welche sensitiver ist. Gelöst wird die Aufgabe durch ein Verfahren bei dem die Resonanzfrequenzen der einzelnen Komponenten eine relative Differenz von maximal 40 % aufweisen oder auf diese Differenz angepasst worden sind, danach das System zu Schwingungen bei der angepassten Resonanzfrequenz angeregt wird, und dabei die Komponente mit der geringeren effektiven Masse Interaktionen und/oder Änderungen ausgesetzt wird, die an der Komponente mit der größeren effektiven Masse gemessen werden, und die gemessene Änderung der Resonanzfrequenz des Systems zur Ermittlung von Kraftfeldern, Kraftfeldgradienten, Materialeigenschaften oder Massen eingesetzt wird.