| 摘要 |
基板を検査するために、まず、鉛の塗布さる前の基板のイメージ情報をディスプレイする。続いて、基板上の少なくとも一つの測定領域を撮像して、撮像された測定領域のイメージを獲得する。次に、獲得された測定領域のイメージを用いてディスプレイされるイメージ情報を更新し、更新されたイメージ情報をディスプレイする。また、基板の異物質を検査するために、獲得された測定領域のイメージを基板の基準イメージと比較して異物質があるかの可否を検査する。それによって、作業者がディスプレイされる基板のイメージの特定部分に対応して実際基板の該当部分の位置を容易に把握することができ、基板上に存在する異物質を容易に検出することができる。 |
