| 发明名称 | 一种硅片撕膜机 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种硅片撕膜机，包括一工作台以及一共晶硅，所述共晶硅的上表面设有一硅膜；所述工作台上设有至少一气孔，所述共晶硅设于所述气孔上，所述工作台内设有气泵，所述气泵与所述气孔对应设置，且所述气泵还连接有一控制电路，所述控制电路与所述共晶硅连接。本实用新型可以在不影响硅片自身结构的情况下，更方便快捷地移除硅片上的硅膜。 | ||
| 申请公布号 | CN205615151U | 申请公布日期 | 2016.10.05 |
| 申请号 | CN201620330177.2 | 申请日期 | 2016.04.19 |
| 申请人 | 福建安特微电子有限公司 | 发明人 | 黄福仁;陈轮兴;彭志洪;柳建祥 |
| 分类号 | B32B38/10(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | B32B38/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 福州市鼓楼区京华专利事务所(普通合伙) 35212 | 代理人 | 王美花 |
| 主权项 | 一种硅片撕膜机，其特征在于：包括一工作台以及一共晶硅，所述共晶硅的上表面设有一硅膜；所述工作台上设有至少一气孔，所述共晶硅设于所述气孔上，所述工作台内设有气泵，所述气泵与所述气孔对应设置，且所述气泵还连接有一控制电路，所述控制电路与所述共晶硅连接。 | ||
| 地址 | 351100 福建省莆田市涵江区赤港华侨经济开发区 | ||