发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09213970(A) 申请公布日期 1997.08.15
申请号 JP19970025729 申请日期 1997.01.27
申请人 CASIO COMPUT CO LTD 发明人 SADABETTO HIROYASU
分类号 H01L21/28;H01L21/265;H01L21/3205;H01L21/336;H01L23/52;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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