发明名称 POWER SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09213723(A) 申请公布日期 1997.08.15
申请号 JP19960020900 申请日期 1996.02.07
申请人 HITACHI LTD 发明人 MORITA TOSHIAKI;ONUKI HITOSHI;KATO MITSUO;SATO MITSUO
分类号 H01L29/74;H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L29/74
代理机构 代理人
主权项
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