移印平台

摘要

本创作提供一种移印平台，其包括支架、一装设于支架上的第一方向调位装置、一装设于第一方向调位装置上的第二方向调位装置、两光学尺及与光学尺电连接的显示装置。第二方向与第一方向垂直，第一方向调位装置包括一可沿第一方向来回移动的第一滑板，第二方向调位装置包括一可沿第二方向来回移动的载物滑台。一光学尺装设于支架或第一滑板上感测第一滑板与支架的相对位移，另一光学尺装设于载物滑台或第一滑板上感测载物滑台与第一滑板的相对位移。本创作移印平台定位速度快效率高，而且定位精度高。

主权项

一种移印平台，包括：支架；一第一方向调位装置，装设于支架上，该第一方向调位装置包括一可于第一方向上来回移动的第一滑板；一第二方向调位装置，装设于第一方向调位装置上，该第二方向调位装置包括一可于第二方向上来回移动的载物滑台；两光学尺；及显示装置，与光学尺电连接；其中第二方向与第一方向垂直，其中一光学尺固定装设于支架或者第一滑板上，从而感测第一滑板与支架于第一方向上的相对位移并向显示装置输出相对位移资料，另一光学尺装设于载物滑台或者第一滑板上，从而感测载物滑台与第一滑板于第二方向上的相对位移并向显示装置输出相对位移资料。