METHOD FOR PRODUCING CAPACITOR STRUCTURES

摘要

Erfindungsgemäss wird ein Verfahren zur Herstellung zumindest einer Kondensatorstruktur mit den folgenden Schritten bereitgestellt: ein Substrat wird bereitgestellt, eine erste Elektrode wird auf dem Substrat erzeugt, eine Maske wird erzeugt, wobei die erste Elektrode in einer Öffnung der Maske angeordnet ist, zumindest eine dielektrische Schicht und zumindest eine leitende Schicht für eine zweite Elektrode werden aufgebracht, wobei die Oberfläche des Teils der leitenden Schicht, der in der Öffnung der Maske aufgebracht wird, im wesentlichen unterhalb der Oberfläche der Maske angeordnet ist, und durch Polieren werden die leitende Schicht und die dielektrische Schicht strukturiert, so dass eine Kondensatorstruktur erzeugt wird.