| 发明名称 | 用于在光致抗蚀剂图案上涂覆的组合物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于涂覆光致抗蚀剂图案的水性涂料组合物，其包含含氨基的聚合物。本发明还涉及微电子元件的制造方法，包括：提供具有光致抗蚀剂图案的衬底，用新型涂料涂覆所述光致抗蚀剂图案，让与所述光致抗蚀剂图案接触的涂料的一部分反应，和将没有与移除溶液反应的涂料的一部分除去。 | ||
| 申请公布号 | CN101057185A | 申请公布日期 | 2007.10.17 |
| 申请号 | CN200580038784.6 | 申请日期 | 2005.10.25 |
| 申请人 | AZ电子材料美国公司 | 发明人 | 工藤隆范;M·帕德曼纳班;R·R·达莫尔 |
| 分类号 | G03F7/40(2006.01) | 主分类号 | G03F7/40(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王健 |
| 主权项 | 1.用于涂覆光致抗蚀剂图案的水性涂料组合物，其包含含氨基的聚合物。 | ||
| 地址 | 美国新泽西 | ||