发明名称 |
气体精制方法 |
摘要 |
本发明之气体精制方法系使用具有分子筛作用之碳膜,将选自含有10ppm以下不纯物的氢化物气体、卤化氢气体、及卤素气体所成群组中之至少1种气体进行精制。本发明可使用于将使用后之气体予以回收并再次做为超高纯度之半导体材料气体利用的回收装置、制造或填充超高纯度之半导体材料气体的装置或设备。 |
申请公布号 |
TW200924835 |
申请公布日期 |
2009.06.16 |
申请号 |
TW097138841 |
申请日期 |
2008.10.09 |
申请人 |
大阳日酸股份有限公司;独立行政法人产业技术总合研究所 |
发明人 |
宫泽让;小林芳彦;原谷贤治;吉宗美纪 |
分类号 |
B01D53/00(2006.01);B01D71/02(2006.01);B01D69/08(2006.01) |
主分类号 |
B01D53/00(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
洪武雄;陈昭诚 |
主权项 |
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地址 |
日本 |