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p-n 접합의 특성의 비접촉 측정은, p-n 접합의 표면의 조명 영역을 광으로 조명하는 것, p-n 접합의 제1 영역으로부터 제1 접합 광전압(JPV) 신호를, 제1 전극으로 측정하는 것, 제2 영역으로부터 제2 JPV 신호를 제2 전극으로 측정하는 것, 제3 영역으로부터 제3 JPV 신호를 참조 전극으로 측정하는 것, 및 p-n 접합 상부층의 시트 저항을 보정된 제1 JPV 신호, 보정된 제2 JPV 신호, 보정된 제1 캘리브레이션 JPV 신호, 보정된 제2 캘리브레이션 JPV 신호 또는 캘리브레이션 p-n 접합의 기지의 시트 저항으로 결정하는 것을 포함한다. |
