| 摘要 |
프로브 카드에 열원을 직접 접촉시켜 단시간에 프로브 카드를 소정의 온도로 조정하는 동시에, 열적으로 안정되었는지를 정확하게 판단할 수 있는 프로브 카드의 열적 안정화 방법을 제공한다. 탑재대(121)에 열전달용 기판 S를 탑재하고, 탑재대(121)를 거쳐서 열전달용 기판 S의 온도를 조정하고, 탑재대(121)를 상승시켜 열전달용 기판 S와 복수의 프로브(122A)를 소정의 목표 하중으로 접촉시키고, 열전달용 기판 S와의 사이에 열을 수수하는 프로브 카드(122)의 열적 변화에 의거해서 변화하는 열전달용 기판 S와 복수의 프로브(122A)의 접촉 하중을 검출하고, 프로브 카드(122)가 열적으로 안정될 때까지 접촉 하중이 소정의 목표 하중이 되도록 승강 구동 기구(126)를 거쳐서 탑재대(121)를 승강 제어한다. |
