一种真空镀膜机

摘要

本发明适用于镀膜设备技术领域，提供了一种真空镀膜机，包括真空腔体，真空腔体内设置有用于放置工件的工件架、靶材、公转齿轮、驱动齿轮、驱动电机、固定齿轮以及自转齿轮。靶材设置于工件架侧边，工件架通过一转轴可旋转地安装于公转齿轮上。驱动电机驱动驱动齿轮旋转，驱动齿轮与公转齿轮传动连接。固定齿轮固定于真空腔体内，工件架与一转轴固定连接，该转轴可旋转地安装于公转齿轮上，并且转轴与自转齿轮固定连接，自转齿轮与固定齿轮啮合。本发明的真空镀膜机可以在工件架的各个侧面上装载工件，装炉量为现有镀膜机的三倍多，在一次镀膜作业中，能给更多的工件镀膜，提高了生产效率。

主权项

一种真空镀膜机，包括真空腔体，所述真空腔体内设置有用于放置工件的工件架、靶材、公转齿轮、驱动齿轮以及驱动电机；所述靶材设置于所述工件架侧边，所述工件架安装于所述公转齿轮上，所述驱动电机驱动所述驱动齿轮旋转，所述驱动齿轮与公转齿轮传动连接；其特征在于，所述真空镀膜机还包括固定齿轮以及自转齿轮，所述固定齿轮固定于所述真空腔体内，所述工件架与一转轴固定连接，所述转轴可旋转地安装于所述公转齿轮上，并且所述转轴与所述自转齿轮固定连接，所述自转齿轮与所述固定齿轮啮合。