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发明名称
TRANSFER DEVICE FOR FILM CARRIER
摘要
申请公布号
JPS641239(A)
申请公布日期
1989.01.05
申请号
JP19870156770
申请日期
1987.06.24
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
MURA MITSURU;SUZUKI TSUTOMU
分类号
H01L21/50
主分类号
H01L21/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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