VERFAHREN UND ANLAGE ZUR HERSTELLUNG DUENNER SCHICHTEN MITTELS EINES PLASMAS FUER ELEKTRONISCHE BZW. OPTO-ELEKTRONISCHE ANWENDUNGEN.,申请号DE19883873250-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN UND ANLAGE ZUR HERSTELLUNG DUENNER SCHICHTEN MITTELS EINES PLASMAS FUER ELEKTRONISCHE BZW. OPTO-ELEKTRONISCHE ANWENDUNGEN.
摘要
申请公布号	DE3873250(D1)	申请公布日期	1992.09.03
申请号	DE19883873250	申请日期	1988.10.11
申请人	SOLEMS S.A., PALAISEAU, FR	发明人	SCHMITT, JACQUES, F-91620 LA VILLE DU BOIS, FR
分类号	C23C14/24;C23C14/34;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/50;C23C16/46	主分类号	C23C14/24
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