| 发明名称 |
METHOD FOR CONTROLLING VAPOR PRESSURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0597565(A) |
申请公布日期 |
1993.04.20 |
| 申请号 |
JP19910255409 |
申请日期 |
1991.10.02 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL MINING CO LTD |
发明人 |
OKABE YOSHIHIRO;SHIMOYAMA SHINICHI |
| 分类号 |
C30B11/00;C30B29/40;C30B29/42;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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