| 发明名称 |
FILM FORMING DEVICE UTILIZING DISCHARGE PLASMA OF MAGNETIC NEUTRAL LINE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07258844(A) |
申请公布日期 |
1995.10.09 |
| 申请号 |
JP19940052422 |
申请日期 |
1994.03.24 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
TANABE MASABUMI;TSUBOI HIDEO;ITO MASAHIRO;HAYASHI TOSHIO;UCHIDA TAIJIROU |
| 分类号 |
H05H1/46;B01J19/08;C23C14/35;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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