发明名称 INTERCONNECTION SELECTION METHOD AND INTERCONNECTION SELECTION TOOL FOR EXECUTION OF IT
摘要
申请公布号 JPH09181186(A) 申请公布日期 1997.07.11
申请号 JP19950340616 申请日期 1995.12.27
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KASHIWAKURA SHOICHIRO;AZEGAMI KENGO
分类号 H01L21/3205;G06F17/50;H01L21/82;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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