| 发明名称 |
SURFACE FLATTENING METHOD FOR BPSG FILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09181071(A) |
申请公布日期 |
1997.07.11 |
| 申请号 |
JP19960336172 |
申请日期 |
1996.12.16 |
| 申请人 |
HYUNDAI ELECTRON IND CO LTD |
发明人 |
BATSUKU IN OKU;JIYON YON SOTSUKU;KIMU UI SHITSUKU |
| 分类号 |
H01L21/316;H01L21/3105;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/316 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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