发明名称 ANTIREFLECTIVE COMPOSITION FOR A DEEP ULTRAVIOLET PHOTORESIST
摘要
申请公布号 EP1131678(A2) 申请公布日期 2001.09.12
申请号 EP19990969903 申请日期 1999.11.09
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. 发明人 PADMANABAN, MUNIRATHNA;DAMMEL, RALPH, R.;FICNER, STANLEY, A.;OBERLANDER, JOSEPH, E.;SAGAN, JOHN, P.
分类号 G03F7/11;G03F7/09;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/09;G03F7/038 主分类号 G03F7/11
代理机构 代理人
主权项
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