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发明名称
ANTIREFLECTIVE COMPOSITION FOR A DEEP ULTRAVIOLET PHOTORESIST
摘要
申请公布号
EP1131678(A2)
申请公布日期
2001.09.12
申请号
EP19990969903
申请日期
1999.11.09
申请人
AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP.
发明人
PADMANABAN, MUNIRATHNA;DAMMEL, RALPH, R.;FICNER, STANLEY, A.;OBERLANDER, JOSEPH, E.;SAGAN, JOHN, P.
分类号
G03F7/11;G03F7/09;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/09;G03F7/038
主分类号
G03F7/11
代理机构
代理人
主权项
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