激光扫描折射/衍射混合f－theta镜系统

摘要

本发明涉及一种光学扫描镜系统，特别是应用于可调谐二氧化碳激光器发射波长范围扫描用的f－theta镜，属于激光光学扫描镜系统。本发明包括光栏、折射透镜、折射/衍射混合透镜等，其特点是根据红外辐射的窗口特性，以及衍射浮雕面型的特点，在同光轴系统中折射透镜的后面设置一折射/衍射混合透镜。将衍射浮雕面型成功地引入到二氧化碳激光器扫描镜系统的设计中，使用最普通的红外材料GaAs或ZnSe，使系统在9.0－11.0μm波段内很好的校正了各种单色像差和色差，波前差小于1/4波长，光学传递函数接近或达到衍射极限。设计结构紧凑，片数少，兼容性好，具有良好的像差特性。适用于可调谐二氧化碳激光器扫描系统中，为f－theta镜的设计提供了一种全新的器件。

主权项

1.一种激光扫描折射/衍射混合f-theta镜系统，包括光栏、折射透镜、扫描平面，其特征是：在折射透镜(5-7)的后面放置折射/衍射混合透镜(5-8)，同光轴上依次安置有光栏(5-1)、折射透镜(5-7)、折射/衍射混合透镜(5-8)、扫描平面(5-6)，折射/衍射混合透镜的前表面制备衍射浮雕面型(5-4)，放在靠近折射透镜的一侧，其反面是折射面(5-5)。