| 主权项 |
1.一种石墨导电导热之晶圆加热装置,其系包括一 机台,该机台顶部设有一第一石墨加热介面,该第 一石墨加热介面顶部设有一第一加热表面,且该第 一石墨加热介面与一供电装置连接,而该供电装置 并设于该机台上,且该供电装置对该第一石墨加热 介面供予电能,而使该第一石墨加热介面产生热能 以对该第一加热表面上之晶圆作加热。 2.依申请专利范围第1项所述之石墨导电导热之晶 圆加热装置,其中于该机台顶部与该第一石墨加热 介面之间更设有一加热平台,而该第一石墨加热介 面系一设于该加热平台上之石墨材料层。 3.依申请专利范围第1项所述之石墨导电导热之晶 圆加热装置,其中该第一石墨加热介面系为一由石 墨材料所构成之块状平台。 4.依申请专利范围第1项所述之石墨导电导热之晶 圆加热装置,其中于该第一石墨加热介面之上方更 设有第二石墨加热介面,该第二石墨加热介面之底 部具有一第二加热表面,该第一、第二加热表面系 可上下相互靠近而抵接,且该第二石墨加热介面并 另与一供电装置连接,以对该第二石墨加热介面供 电加热。 图式简单说明: 第1图系本创作之立体示意图,系可见到第一石墨 加热介面之一种实施态样。 第2图系本创作之立体示意图,系可见到第一石墨 加热介面之另一种实施态样。 第3图系本创作为采取上下方式对晶圆作加热之实 施态样示意图。 第4图系习用之晶圆加热装置其内部之电热丝缠绕 的示意图。 |
