| 摘要 |
alvo para vaporização de centelha com limitação espacial da propagação de centelha. a presente invenção refere-se a um alvo para uma fonte arc com um primeiro corpo (3) de um material a ser vaporizado, que compreende essencialmente em um plano uma superfície prevista para vaporização, sendo que a superfície nesse plano envolve uma região central, caracaterizado pelo fato de que na região central é provido um segundo corpo (7), executado de preferência em forma de disco, eletricamente isolado do primeiro corpo (3) de tal maneira, que pelo segundo corpo (7) essencialmente não podem ser disponibilizados elétrons para manutenção de uma centelha. |
