一种大数值孔径浸没式投影物镜

摘要

本发明提出了一种大数值孔径浸没式投影物镜，用于将物平面的图像成像到像平面内。该大数值孔径浸没式投影物镜，沿其光轴方向包括两个同轴放置的非球面反射镜和六个透射组。从光束入射方向依次排布透射组G1具有正焦距，透射组G2具有正焦距，透射组G3具有正焦距，反射组具有负光焦度，透射组G4具有负焦距，透射组G5具有正焦距，透射组G6具有正焦距，本发明的大数值孔径浸没式投影物镜可将物平面的图像缩小0.25倍成像到像平面内，该投影物镜具有数值孔径大、成像质量好、结构紧凑、容易加工装调等优点。

主权项

一种大数值孔径浸没式投影物镜，其特征在于，以物平面输入光束传播方向为系统光轴，在系统光轴上依次放置透镜组G1、透镜组G2、透镜组G3、反射组和透镜组G4、透镜组G5、透镜组G6，其中透镜组G1焦距为正，透镜组G2焦距为正，透镜组G3焦距为正，反射组焦距为负，透镜组G4焦距为负，透镜组G5焦距为正，透镜组G6焦距为正；透镜组G1的焦距和系统总焦距的比值范围区间为[‑0.009，‑0.008]，透镜组G2的焦距和系统总焦距的比值范围区间为[‑0.01，‑0.009]，透镜组G3的焦距和系统总焦距的比值范围区间为[‑0.08，‑0.05]，反射组的焦距和系统总焦距的比值范围区间为[0.006，0.009]，透镜组G4的焦距和系统总焦距的比值范围区间为[0.01，0.02]，透镜组G5的焦距和系统总焦距的比值范围区间为[‑0.02，‑0.01]，透镜组G6的焦距和系统总焦距的比值范围区间为[‑0.01，‑0.008]；透镜组G1包括第一正透镜(1)、第二正透镜(2)、第三正透镜(3)、第四正透镜(4)、第一负透镜(5)；透镜组G2包括第二负透镜(6)、第五正透镜(7)、第六正透镜(8)、第三负透镜(9)、第七正透镜(10)；透镜组G3包括第八正透镜(11)、第四负透镜(12)、第九正透镜(13)；反射组包括第一反射镜(14)、第二反射镜(15)，其中第一反射镜(14)焦距为负，第二反射镜(15)焦距为正，第一反射镜(14)的焦距和反射组的焦距比值范围区间为[0.5,0.8]，第二反射镜(15)的焦距和反射组的焦距比值范围区间为[‑0.6，‑0.4]；透镜组G4包括第十正透镜(16)、第五负透镜(17)；透镜组G5包括第六负透镜(18)、第十一正透镜(19)、第十二正透镜(20)、第十三正透镜(21)、第十四正透镜(22)、第十五正透镜(23)；透镜组G6包括第十六正透镜(24)、第十七正透镜(25)、第十八正透镜(26)。