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发明名称 VORRICHTUNG ZUM HERSTELLEN VON BESCHICHTUNGEN MIT ABGESTUFTER ZUSAMMENSETZUNG
摘要
申请公布号 DE3815006(A1) 申请公布日期 1989.01.05
申请号 DE19883815006 申请日期 1988.05.03
申请人 VAC-TEC SYSTEMS, INC., BOULDER, COL., US 发明人 WELTY, RICHARD P., BOULDER, COL., US
分类号 C23C14/04;C23C14/22;C23C14/24;C23C14/56;C40B40/18;C40B60/14;(IPC1-7):C23C14/22;C23C16/44 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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