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发明名称
摘要
申请公布号	JPH05270984(A)	申请公布日期	1993.10.19
申请号	JP19920340845	申请日期	1992.12.22
申请人		发明人
分类号	C23C16/26;C23C16/27;C23C16/513;C30B25/02;C30B25/16;C30B29/04;(IPC1-7):C30B29/04	主分类号	C23C16/26
代理机构		代理人
主权项
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