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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung.
摘要
申请公布号 DE68911748(D1) 申请公布日期 1994.02.10
申请号 DE19896011748 申请日期 1989.05.10
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL 发明人 SCHELLEKENS, JACOBUS PETRUS WILHELMUS, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL;VISSER, ROBERT JAN, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 G03F7/38;G03F7/26;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/26 主分类号 G03F7/38
代理机构 代理人
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