| 发明名称 |
DEVICE FOR EXECUTING FILM DEPOSITION ON SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10130835(A) |
申请公布日期 |
1998.05.19 |
| 申请号 |
JP19970295388 |
申请日期 |
1997.10.28 |
| 申请人 |
BALZERS PROZES SYST GMBH |
发明人 |
MAAS WOLFRAM DR;MAHLER PETER;SCHERER MICHAEL DR |
| 分类号 |
C23C14/35;C23C14/50;H01F41/18;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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