发明名称 Aminoalkoxide- or alkoxyalkoxide-containing rare earth metal precursors for use in MOCVD techniques
摘要
申请公布号 GB2399568(A) 申请公布日期 2004.09.22
申请号 GB20040005441 申请日期 2004.03.11
申请人 * EPICHEM LIMITED 发明人 ANTHONY COPELAND * JONES
分类号 C07F5/00;C23C16/40;(IPC1-7):C07C43/13 主分类号 C07F5/00
代理机构 代理人
主权项
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