基板贴合方法

摘要

本发明公开一种基板贴合方法，其包括以下步骤：提供一真空腔，该真空腔具有一工作台和一第一静电吸盘，该第一静电吸盘具有一开设多个导气孔的吸盘主体；将一第一基板通过静电感应吸附在该第一静电吸盘上，将一第二基板设置在该工作台上；贴合第一基板与第二基板；保持真空腔持续抽真空的同时，提供一气体，该气体是通过一供气装置供应，该供气装置通过一气体管路与该第一静电吸盘的吸盘主体的导气孔贯通，该气体冲击该第一基板并使之与该第一静电吸盘脱离。

主权项

1.一种基板贴合方法，包括以下步骤：提供一真空腔，该真空腔具有一工作台和一第一静电吸盘，该第一静电吸盘具有一开设多个导气孔的吸盘主体；将一第一基板通过静电感应吸附在该第一静电吸盘上，将一第二基板设置在该工作台上；贴合该第一基板与第二基板；保持真空腔持续抽真空的同时，提供一气体，该气体是通过一供气装置供应，该供气装置通过一气体管路与该第一静电吸盘的吸盘主体的导气孔贯通，该气体冲击该第一基板并使之与该第一静电吸盘脱离。