发明名称 | 对准记号及利用此对准记号校准制程之方法 | ||
摘要 | 本发明提供一种对准记号,包括:一基底;一材料层,形成于该基底上;以及一记号,设置于该材料层上,包括由外而内排列之一第一次记号、一第二次记号以及一第三次记号,其中任意两次记号之宽度系相同。本发明另提供一种利用此对准记号校准制程之方法。 | ||
申请公布号 | TW200925801 | 申请公布日期 | 2009.06.16 |
申请号 | TW096146993 | 申请日期 | 2007.12.10 |
申请人 | 南亚科技股份有限公司 | 发明人 | 吴文彬;刘安雄 |
分类号 | G03F9/00(2006.01) | 主分类号 | G03F9/00(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 洪澄文;颜锦顺 | |
主权项 | |||
地址 | 桃园县龟山乡华亚科技园区复兴三路669号 |