发明名称 |
一种绒面单晶硅太阳能电池及其制备方法和制备系统 |
摘要 |
本发明提供了一种绒面单晶硅太阳能电池的制备方法,包括:在单晶硅片的一面上制备保护膜,形成具有单面保护膜的单晶硅片;将具有单面保护膜的单晶硅片置于腐蚀液中进行制绒处理,使单晶硅片的另一面腐蚀为绒面;将一面为绒面、一面为保护膜的单晶硅片置于除膜液中进行保护膜去除处理,形成单面绒面的单晶硅片;单面绒面的单晶硅片经过扩散制结过程形成单晶硅太阳能电池。本发明还提供了一种根据所述方法制备的绒面单晶硅太阳能电池和绒面单晶硅太阳能电池的制备系统。根据本发明制备出了单面绒面结构的单晶硅太阳能电池,提高了电池的转换效率,避免了“铝泡”现象的发生;同时利用生产线上的现有设备,提高了设备的利用率。 |
申请公布号 |
CN101599514A |
申请公布日期 |
2009.12.09 |
申请号 |
CN200910088732.X |
申请日期 |
2009.07.10 |
申请人 |
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
发明人 |
贾士亮 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;H01L31/042(2006.01)I;H01L31/0236(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
北京润泽恒知识产权代理有限公司 |
代理人 |
苏培华 |
主权项 |
1、一种绒面单晶硅太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括:在单晶硅片的一面上制备保护膜,形成具有单面保护膜的单晶硅片;将所述具有单面保护膜的单晶硅片置于腐蚀液中进行制绒处理,使所述单晶硅片的另一面腐蚀为绒面,形成一面为绒面、一面为保护膜的单晶硅片;将所述一面为绒面、一面为保护膜的单晶硅片置于除膜液中进行保护膜去除处理,形成单面绒面的单晶硅片;所述单面绒面的单晶硅片经过扩散制结过程形成单晶硅太阳能电池。 |
地址 |
100016北京市朝阳区酒仙桥东路一号M5座2楼 |