| 发明名称 |
Verstellsystem-Bauelement, Spiegelanordnung und Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie |
| 摘要 |
Ein Verstellsystem-Bauelement umfasst mindestens ein Getriebe (2) in Form eines sphärischen Getriebes, dessen Gelenkachsen sich in einem feststehenden Drehpunkt (P) des Getriebes (2) schneiden. |
| 申请公布号 |
DE102014224993(A1) |
申请公布日期 |
2016.06.09 |
| 申请号 |
DE201410224993 |
申请日期 |
2014.12.05 |
| 申请人 |
Carl Zeiss SMT GmbH |
发明人 |
Nefzi, Marwene;Prochnau, Jens;Wichard, Ralf |
| 分类号 |
G02B7/198;G02B7/182;G02B26/08;G03F7/20 |
主分类号 |
G02B7/198 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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