| 摘要 |
상부 표면 및 하부 표면을 구비하는 기판 상에 점성 재료를 분배할 수 있는 분배기가, 프레임, 갠트리 시스템, 및 분배 유닛을 포함한다. 갠트리 시스템은, 분배 유닛을, x-축, y-축, 및 z-축 방향으로 이동시키도록 구성된다. 분배기는, 기판의 상부 표면 상에 그리고 기판의 하부 표면 상에 재료를 분배하기 위한 분배 위치에서 기판을 지지하도록 구성되는, 기판 지지 조립체를 더 포함한다. 기판 지지 조립체는, 파지 시스템(106, 148) 및 반전 시스템(108)을 포함한다. 반전 시스템은, 기판의 상부 표면이 분배 위치에 놓이는 제1 위치와 기판의 하부 표면이 분배 위치에 놓이는 제2 위치 사이에서 기판의 이송 방향과 수직인 축을 중심으로 파지 시스템을 회전시키도록 구성된다. |
