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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5399878(A) 申请公布日期 1978.08.31
申请号 JP19770014279 申请日期 1977.02.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 HIRAO MITSURU
分类号 H01L29/80;H01L21/22;H01L21/26;H01L21/322;H01L29/06;H01L29/32 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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