发明名称 Piezoelektrischer Aktuator
摘要
申请公布号 DE4228974(A1) 申请公布日期 1994.03.03
申请号 DE19924228974 申请日期 1992.08.31
申请人 DIEHL GMBH & CO, 90478 NUERNBERG, DE 发明人 BRILL, MICHAEL, DIPL.-ING., 8520 ERLANGEN, DE
分类号 H01L41/053;H01L41/083;(IPC1-7):G12B1/00;G01K11/00;H05B3/00;H01L41/113 主分类号 H01L41/053
代理机构 代理人
主权项
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