| 发明名称 |
Vapor-phase deposition apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0448346(B1) |
申请公布日期 |
1997.07.09 |
| 申请号 |
EP19910302357 |
申请日期 |
1991.03.19 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
SATO, YUUSUKE;OHMINE, TOSHIMITSU |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/48;(IPC1-7):C23C16/44;C23C16/46 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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