发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT THROUGH REGIONAL OXIDATION OF SILICON AND STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH09213692(A) 申请公布日期 1997.08.15
申请号 JP19960043938 申请日期 1996.01.25
申请人 TAIWAN MOSHII DENSHI KOFUN YUUGENKOUSHI 发明人 SO BUNTAKU
分类号 H01L21/316;H01L27/08;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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