敏射线树脂组合物

摘要

一种敏射线树脂组合物,其中向光敏性树脂基组合物中加入特定量的荧光物质制得该组合物,它具有优良的敏感性,分辨度与膜层保护特性,并能形成令人满意的(光致防蚀)图形。当该光敏性树脂基组合物至少兼有一种树脂和一种光敏性物质时,例如一种含有碱溶性线型酚醛清漆树脂和醌二叠氮化物的组合物等,那么上述荧光物质的加入量,相对于100份重量的光敏性物质,是0.0001—1.0份重量。当该光敏性树脂基组合物至少兼有一种树脂和一种光致酸生成剂时,例如负性或正性,化学增强型的光致抗蚀剂,那么上述荧光物质的加入量是1.0—30.0份重量。上述荧光物质可以包括有机的荧光物质,如萘、蒽、菲、芘、苝、芴、咔唑、联苯、对三联苯、对四联苯、吲哚吖啶、并四苯、红荧烯、及它们的衍生物。

主权项

1．一种至少兼有一种树脂和一种光敏性物质的敏射线树脂组合物，其中结合加入的荧光物质量，相对于100份重量的光敏性物质，是0．0001-1．0份重量。