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发明名称 METHOD FOR CARRYING OUT A PLASMA ETCHING PROCESS
摘要
申请公布号 EP1166325(A1) 申请公布日期 2002.01.02
申请号 EP20010909536 申请日期 2001.01.26
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 ENGELHARDT, MANFRED
分类号 G03F7/40;H01J37/32;H01L21/3065;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 G03F7/40
代理机构 代理人
主权项
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