PLASMA PROCESSOR WITH COIL HAVING VARIABLE RF COUPLING,申请号EP20000908551-传众专利搜索

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发明名称	PLASMA PROCESSOR WITH COIL HAVING VARIABLE RF COUPLING
摘要
申请公布号	EP1166321(A1)	申请公布日期	2002.01.02
申请号	EP20000908551	申请日期	2000.02.10
申请人	LAM RESEARCH CORPORATION	发明人	NI, TUQIANG;COLLISON, WENLI;HOLLAND, JOHN, P.
分类号	H01F5/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/32	主分类号	H01F5/00
代理机构		代理人
主权项
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