现场基板检验用之系统、方法与设备

摘要

一种检验基板用之系统，包含：相机及光源。相机系经定位而朝向一视野范围。该视野范围至少包含基板之第一表面的第一部分。该光源系以相对于基板之第一表面的第一角度β来加以定位而朝向该视野范围。亦包含一种检验基板用之方法。